產品參數:
型號 |
TS-PL05 |
控制系統 |
PLC+觸摸屏 |
供電電源 |
AC220V(±10V) |
工作電流 |
整機工作電流不大于 1.2A(不含真空泵電流) |
電源功率 |
0-300W(連續可調) |
頻率偏移量 |
小于 0.2KH |
氣體流量計 |
60-600ml/min(兩路氣體可調) |
電源頻率 |
40KHZ |
過程控制 |
自動與手動方式 |
清洗時間 |
1-9999 秒鐘可調 |
真空度 |
30pa-80Pa |
真空泵 |
抽氣速率:2L/S(油霧過濾) |
內腔尺寸(mm) |
直徑150*280mm,不銹鋼 316 |
外形尺寸(mm) |
600mm ×600mm ×500mm(長×寬×高) |
TS-PL05產品特點:
密封性卓越的真空腔體設計,軍工級的高真空度真空腔體設計及制造工藝,并配置進口技術真空泵運行。
兩種工藝氣體配置(氬氣、氧氣),可選擇多種反應氣體,雙路氣流控制,比例可調,采用高精度浮子流量計、美國世維洛克氣體管路及閥件。
0~99.9小時選擇范圍時間顯示,處理過程結束后自動終止。
觸摸屏操作,方便快捷,可選擇手動或自動操作模式。
采用氣體作為清洗介質,成本低,干式清洗更加環保。
工藝說明:
工藝氣體
一般在等離子清洗中,可把活化氣體分為兩 類,一類為惰性氣體的等離子體(Ar2、N2 等); 另一類為反應性氣體的等離子體(如O2、H2等)。以氬等離子為例,在一個物理過程 中,在氬等離子中產生的離子會以足夠的能量輻 射表面,去掉表面污物。帶正電的氬等離子將被 吸引到在真空艙體的負極板。由于高能等離子撞 擊,撞擊力足以去除表面上的任何污垢,隨后污 垢通過真空泵以氣體形式排出。
功率
通過提高等離子處理的功率,可增加等離子體的密度和能量,從而加快等離子處理的速度。 等離子體密度是單位體積內所包含的等離子體的數量。等離子體能量定義了等離子體進行表面物 理轟擊的能力。
時間
工藝時間的長短與功率、氣體流量和氣體類型相關。以在PGBA基板上提高引線的鍵合能力為例,一個短時間的等離子處理,引線的鍵合強度相對于未處理前只提高了2%;但是將處理時間增加1/3,引線的鍵合強度將比未處理前提高20%。這里應該指出的是,過長的工藝時間并不總是可以提高材料的表面活性。從提高生產效率這方面出發,還應盡量減少工藝時間,這在大批量生產中尤為重要。
實際上,在整個等離子處理過程中,影響處理效果的要素還包括過程溫度、氣體分配、真空度、電極設置、靜電保護等。