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等離子清洗機
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5L小型等離子清洗機

產品型號:TS-PL05

產品簡介: 小規模生產或者實驗室使用,用于材料表面清洗改性刻蝕,提升材料表面的親水性

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產品參數:

型號 TS-PL05
控制系統
PLC+觸摸屏
供電電源
AC220V(±10V)
工作電流
整機工作電流不大于 1.2A(不含真空泵電流)
電源功率
0-300W(連續可調)
頻率偏移量
小于 0.2KH
氣體流量計
60-600ml/min(兩路氣體可調)
電源頻率
40KHZ
過程控制
自動與手動方式
清洗時間
1-9999 秒鐘可調
真空度
30pa-80Pa
真空泵
抽氣速率:2L/S(油霧過濾)
內腔尺寸(mm)
直徑150*280mm,不銹鋼 316
外形尺寸(mm)
600mm ×600mm ×500mm(長×寬×高)

TS-PL05產品特點

密封性卓越的真空腔體設計,軍工級的高真空度真空腔體設計及制造工藝,并配置進口技術真空泵運行。

兩種工藝氣體配置(氬氣、氧氣),可選擇多種反應氣體,雙路氣流控制,比例可調,采用高精度浮子流量計、美國世維洛克氣體管路及閥件。

0~99.9小時選擇范圍時間顯示,處理過程結束后自動終止。

觸摸屏操作,方便快捷,可選擇手動或自動操作模式。

采用氣體作為清洗介質,成本低,干式清洗更加環保。

工藝說明:

工藝氣體

一般在等離子清洗中,可把活化氣體分為兩 類,一類為惰性氣體的等離子體(Ar2、N2 等); 另一類為反應性氣體的等離子體(如O2、H2等)。以氬等離子為例,在一個物理過程 中,在氬等離子中產生的離子會以足夠的能量輻 射表面,去掉表面污物。帶正電的氬等離子將被 吸引到在真空艙體的負極板。由于高能等離子撞 擊,撞擊力足以去除表面上的任何污垢,隨后污 垢通過真空泵以氣體形式排出。

功率

通過提高等離子處理的功率,可增加等離子體的密度和能量,從而加快等離子處理的速度。 等離子體密度是單位體積內所包含的等離子體的數量。等離子體能量定義了等離子體進行表面物 理轟擊的能力。

時間

工藝時間的長短與功率、氣體流量和氣體類型相關。以在PGBA基板上提高引線的鍵合能力為例,一個短時間的等離子處理,引線的鍵合強度相對于未處理前只提高了2%;但是將處理時間增加1/3,引線的鍵合強度將比未處理前提高20%。這里應該指出的是,過長的工藝時間并不總是可以提高材料的表面活性。從提高生產效率這方面出發,還應盡量減少工藝時間,這在大批量生產中尤為重要。

實際上,在整個等離子處理過程中,影響處理效果的要素還包括過程溫度、氣體分配、真空度、電極設置、靜電保護等。

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