產品參數：
型號
TS-SY05
控制系統
PLC+觸摸屏
供電電源
AC220V（±10V）
工作電流
整機工作電流不大于 1.2A（不含真空泵電流）
等離子源功率
300W（60%-100%連續可調）
等離子源頻率
13.56MHz
頻率偏移量
小于 0.2KHz
氣體流量計
0-500ml/min(2路氣體可調)
氣體流量控制
精密針閥式浮子流量計（2路）
過程控制
自動與手動方式
清洗時間
1-9999s 可調
真空度
＜80Pa
內腔尺寸（圓形）
φ160（直徑）*210（深度）mm
腔體材質
石英玻璃
產品特點：
清洗時長可在觸摸屏設置，等離子處理時間精確到秒（s）
內置兩路氣路，氣體流量可調，無需再搭配氣體混合儀
專利軟件、觸摸屏控制，操作簡易，智能化設計，避免誤操作
實時觀察腔體壓力變化情況， 電流、電壓實時監測，確保儀器穩定安全運行
石英材質真空腔體不與等離子體產生反應，不會污染樣品
配備的真空泵噪音和油氣污染小，真空度高
全程干燥的處理方式，不消耗水資源、無需添加化學藥劑、不產生污染
常見應用：
石墨烯粉末清洗、改性，去除粉末雜質和油質，增加石墨烯表面親水基團（-OH）提高親水性
金屬工件油污等離子清洗，不損傷樣品，去除表面油污
PDMS等離子活化改性，提升親水性和鍵合力
ITO導電玻璃親水性處理并提高其功函數
硅片親水性處理，改性、活化表面
